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南京邮电大学高精度三轴扫描运动平台

  • 2026-10-29
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项目名称: 高精度三轴扫描运动平台

招标公司: 南京邮电大学

采购标的物: 高精度三轴扫描运动平台

项目地区:江苏 南京

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申购单号:CB查看完整信息68

申购主题:高精度三轴扫描运动平台

采购单位:南京邮电大学

发票类型:增值税普通发票

币种:人民币

预算:None

付款方式:货到验收合格后付款

参考商品链接:None

备注:采购高精度三轴扫描运动平台1套,主要用于偏振光显微成像过程中Si、SiC等晶圆、集成电路芯片及微纳结构的自动定位、区域扫描、图像拼接和精密调焦,属于A02100110 执行器。系统应包括电动X-Y二维扫描平台、电动Z轴调焦机构、三轴运动控制器、手动摇杆、USB通信接口、Z轴位置编码器及安装连接所需的全部附件。X-Y轴有效行程不小于200 mm×200 mm,最小控制步距不大于0.05 μm;Z轴应支持电动精密调焦,最小控制步距不大于0.05 μm,并配置位置编码器,实现位置反馈。三轴控制器应支持X、Y、Z轴独立运动和联动控制,具备点动、连续运动、绝对位置和相对位置控制功能,可通过摇杆进行手动操作,并通过USB接口与计算机连接。平台应能够与现有显微镜机架、载物台及图像采集系统可靠安装和兼容,运动过程应平稳,无明显爬行、卡滞和失步。供应商负责运输、安装、调试、接口适配及操作培训,质保期不少于1年。合同签订后14周内送达南京邮电大学指定地点并完成安装调试。验收时对设备组成、数量、行程、最小步距、重复定位、三轴联动、Z轴反馈、摇杆操作和USB通信功能进行测试,全部满足采购要求后予以验收。

品牌:fredor

型号:scan 200x200

规格参数:采购高精度三轴扫描运动平台1套,主要用于偏振光显微成像过程中Si、SiC等晶圆、集成电路芯片及微纳结构的自动定位、区域扫描、图像拼接和精密调焦,属于A02100110 执行器。系统应包括电动X-Y二维扫描平台、电动Z轴调焦机构、三轴运动控制器、手动摇杆、USB通信接口、Z轴位置编码器及安装连接所需的全部附件。X-Y轴有效行程不小于200 mm×200 mm,最小控制步距不大于0.05 μm;Z轴应支持电动精密调焦,最小控制步距不大于0.05 μm,并配置位置编码器,实现位置反馈。三轴控制器应支持X、Y、Z轴独立运动和联动控制,具备点动、连续运动、绝对位置和相对位置控制功能,可通过摇杆进行手动操作,并通过USB接口与计算机连接。平台应能够与现有显微镜机架、载物台及图像采集系统可靠安装和兼容,运动过程应平稳,无明显爬行、卡滞和失步。供应商负责运输、安装、调试、接口适配及操作培训,质保期不少于1年。合同签订后14周内送达南京邮电大学指定地点并完成安装调试。验收时对设备组成、数量、行程、最小步距、重复定位、三轴联动、Z轴反馈、摇杆操作和USB通信功能进行测试,全部满足采购要求后予以验收。

质保及售后服务:两年

数量:1.0

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